六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半导体助剂
中文名称： 六甲基二硅氮烷
中文别名： 六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
英文名称： 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS号： 999-97-3
EINECS号： 213-668-5
分子式： C6H19NSi2
分子量： 161.39
性状 无色透明液体、无毒、略带胺味
密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 
折光率()：1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 
六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7
三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 
闪点：27℃
沸点：126℃ 色度：≤10
用途：特种有机合成。衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。